Metode terstruktur pertama untuk mendokumentasikan proses flow, “diagram proses aliran”, diperkenalkan oleh Frank Gilbreth kepada anggota ASME pada 1921 sebagai presentasi “Proses Charts-Langkah Pertama di Menemukan Satu Best Way”. Gilbreth’s tool dengan cepat menemukan jalan masuk ke teknik industri kurikulum. Pada awal tahun 1930-an, seorang insinyur industri, Allan H. Mogensen mulai bisnis pelatihan orang-orang dalam penggunaan beberapa alat-alat teknik industri di Penyederhanaan Kerja Pertemuan di Lake Placid, New York.
Seorang lulusan 1944 kelas Mogensen, Seni Spinanger, mengambil peralatan kembali ke Procter and Gamble di mana dia mengembangkan Program Ubah Metode disengaja. Lulusan 1944 lain, Ben S. Graham, Direktur Teknik di Formcraft Standar Daftar Corporation, mengadaptasi bagan proses arus informasi pengolahan dengan pengembangan proses aliran multi-chart untuk menampilkan beberapa dokumen serta hubungan mereka. Pada 1947, ASME mengadopsi seperangkat simbol yang berasal dari asli Gilbreth bekerja sebagai Standar ASME untuk Proses Charts oleh Mishad, Ramsan, Raiaan.
Douglas Hartree menjelaskan bahwa Herman Goldstine dan John von Neumann mengembangkan diagram alur (awalnya, diagram) untuk merencanakan program-program komputer. account kontemporer-Nya didukung oleh insinyur IBM dan oleh Goldstine ingatan pribadi. pemrograman asli flow chart dari Goldstine dan von Neumann dapat dilihat dalam laporan tidak diterbitkan, “Perencanaan dan pengkodean masalah bagi alat komputasi elektronik, Bagian II, Volume 1,” 1947, yang direproduksi dalam von Neumann karya dikumpulkanDiagram alur yang digunakan menjadi alat populer untuk menggambarkan algoritma komputer dan masih digunakan untuk tujuan ini. teknik-teknik modern seperti UML diagram aktivitas dapat dianggap sebagai perpanjangan dari diagram alur. Namun, popularitas mereka menurun ketika, pada 1970-an, interaktif terminal komputer dan generasi ketiga bahasa pemrograman menjadi alat yang umum dariperdagangan, karena algoritma dapat dinyatakan jauh lebih ringkas dan readably sebagai kode sumber dalam suatu bahasa. Sering kali,pseudo-kode yang digunakan, yang menggunakan idiom umum bahasa tersebut tanpa benar-benar mengikuti rincian satu tertentu.